1. IC納米行業(yè)
(1) 行業(yè)背景：
(2) 解決方案：通過橢偏儀測量樣品的橢偏角，根據(jù)客戶提供層構信息進行樣品參數(shù)擬合，進而得到樣品的膜厚和光學常數(shù)
(3) 測試案例
① 膜層結構
②橢偏角匹配度和得到的光學常數(shù)
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